適用于自動化和工業系統 i-系列
KSI i-系列是為了檢測晶圓、晶錠和大型樣品而設計和制造的新一代超聲波檢測系統。KSI i-系列產品的機械系統反映了強大的工業和半導體工廠設計能力，集合了終端用戶所需要的特點。
KSI i-系列集合了超聲波儀器和系統設計長達30多年的開發經驗，它的特征包含了強大的機械設計、封閉式雙閉環伺服定位系統、多道換能器和數據采集功能。
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KSI－ 凱斯安i-Ingot型全自動晶錠分析檢測系統
 新型KSI i-Ingot適用于對晶錠的無損檢測，有了它，晶錠內部的裂縫或雜質就能得到快速檢測，晶錠的尺寸可達450mm，檢測時間短，也不需要做其它設定。
除此之外，新的檢測程序還能防止外界干擾。有了KSI i-Ingot，使用8通道換能器系統能檢測小到100μm的孔隙，從而提高效能。
新型KSI i-Ingot的特點：
- 新機器安裝方便快速
- 多重換能器系統，數量多達8只
- 檢測速度快，圖像采集速度快
- 工業標準
- 程序穩定，能防止外界干擾
- 能檢測各種晶錠尺寸，安裝快速
- 24小時待命
- 根據用戶要求定制
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KSI - 凱斯安i-Wafer型全自動晶圓超聲波缺陷檢測系統
i-Wafer系列是一款高端儀器，操作人員可選擇接收/拒絕標準，手動或自動檢測晶圓。在KSI i-Wafer的探測下，晶圓中的孔隙、分層或者雜質都能被發現。尺寸在450mm的多種晶圓也能進行檢測。
新型KSI i-Wafer晶圓缺陷檢測系統的主要特點：
- 掃描速度最高達2000mm/s
- 新型換能器
- 高質畫面
- 同時使用1只、2只、4只換能器提高效能
- 能發現只有幾微米的缺陷
- 能檢測200mm、300mm和450mm的晶圓
- 頻率范圍從10MHz到550MHz
- 最大放大倍數：625倍
- 通過不同的掃描模式靈活應用
- 使用Windows 7 GUI就可簡單操作
- KSI 可視軟件
- 根據用戶需要加以應用
- 高性價比
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為客戶訂制的晶圓托盤
全自動8英吋和12英吋晶圓缺陷檢測聲掃系統，帶晶圓盒、機械手、準直系統和條碼識別系統
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全自動工業超聲波顯微鏡