KSI - 凱斯安i-Wafer型全自動晶圓超聲波缺陷檢測系統

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i-Wafer系列是一款高端儀器，操作人員可選擇接收/拒絕標準，手動或自動檢測晶圓。在KSI i-Wafer的探測下，晶圓中的孔隙、分層或者雜質都能被發現。尺寸在450mm的多種晶圓也能進行檢測。

新型KSI i-Wafer晶圓缺陷檢測系統的主要特點：
- 掃描速度最高達2000mm/s
- 新型換能器
- 高質畫面
- 同時使用1只、2只、4只換能器提高效能
- 能發現只有幾微米的缺陷
- 能檢測200mm、300mm和450mm的晶圓
- 頻率范圍從10MHz到550MHz
- 最大放大倍數：625倍
- 通過不同的掃描模式靈活應用
- 使用Windows 7 GUI就可簡單操作
- KSI 可視軟件
- 根據用戶需要加以應用
- 高性價比

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為客戶訂制的晶圓托盤
全自動8英吋和12英吋晶圓缺陷檢測聲掃系統，帶晶圓盒、機械手、準直系統和條碼識別系統